JB/T 8945-2010
真空スパッタリング成膜装置 (英語版)
- 規格番号
- JB/T 8945-2010
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2010
- 出版団体
- Professional Standard - Machinery
- 最新版
- JB/T 8945-2010
- 交換する
- JB/T 8945-1999
- 範囲
- この規格は、真空スパッタリングコーティング装置の基本パラメータ、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管を規定します。 この規格は、圧力が1×10Pa～1×10Paの範囲の真空スパッタリングコーティング装置に適用されます。
JB/T 8945-2010 規範的参照
- GB/T 11164-1999 真空成膜装置の一般的な技術条件
- GB/T 13306 看板*， 2011-05-12 更新するには
- GB/T 191 包装、保管、輸送の絵標識
- GB/T 6070 真空技術。 フランジ寸法
- JB/T 1090 真空技術 J タイプ真空ゴム シール リングの種類とサイズ*， 2018-02-09 更新するには
- JB/T 1091 真空技術 JOタイプとスケルトンタイプの真空ゴムシールリングの種類と寸法*， 2018-02-09 更新するには
- JB/T 1092 真空技術 O リング真空ゴムシールの種類と寸法*， 2018-02-09 更新するには
- JB/T 7673 真空技術 真空装置モデル作成方法*， 2011-12-20 更新するには
JB/T 8945-2010 発売履歴
- 2010 JB/T 8945-2010 真空スパッタリング成膜装置
- 1999 JB/T 8945-1999 真空スパッタリング成膜装置
