JB/T 8945-1999
真空スパッタリング成膜装置 (英語版)
- 規格番号
- JB/T 8945-1999
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1999
- 出版団体
- Professional Standard - Machinery
- 状態
- 2010-07
- に置き換えられる
- JB/T 8945-2010
- 最新版
- JB/T 8945-2010
- 範囲
- この規格は、真空スパッタリングコーティング装置のモデルと基本パラメータ、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管などを規定しています。 この規格は、圧力が1×10^(-4)～5×10^(-3)Paの範囲の真空射出成膜装置に適用されます。
JB/T 8945-1999 発売履歴
- 2010 JB/T 8945-2010 真空スパッタリング成膜装置
- 1999 JB/T 8945-1999 真空スパッタリング成膜装置
