GB/T 11164-1999
真空成膜装置の一般的な技術条件 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 11164-1999
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1999
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2012-06
- に置き換えられる
- GB/T 11164-2011
- 最新版
- GB/T 11164-2011
- 範囲
- この規格は、真空塗装装置の技術要件、試験方法、検査規則、標識、梱包、輸送および保管について規定しています。 この規格は、圧力10-4～10-3Paの範囲の蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の真空成膜装置（以下、装置）に適用されます。
GB/T 11164-1999 発売履歴
- 2011 GB/T 11164-2011 真空成膜装置の一般的な技術条件
- 1999 GB/T 11164-1999 真空成膜装置の一般的な技術条件
