GB/T 4058-1995
研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 4058-1995
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1995
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-06
- に置き換えられる
- GB/T 4058-2009
- 最新版
- GB/T 4058-2009
- 範囲
- この規格は、シリコン研磨ウェーハ上の酸化に起因する欠陥の検査方法を指定します。 この規格は、シミュレートされたデバイスの酸化プロセス中にシリコン研磨ウェーハの表面積に誘発または強化された結晶欠陥の検出に適用されます。
GB/T 4058-1995 発売履歴
- 2009 GB/T 4058-2009 研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法
- 1995 GB/T 4058-1995 研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法
