This Standard specifies test methods for designated classification of airborne particulate cleanliness and for characterizing the performance of cleanrooms and cleanzones.
JIS B 9917-3:2009 規範的参照
ISO 14644-2:2000 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様