ISO 14644-2:2000
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様

規格番号

ISO 14644-2:2000

制定年

2000

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ISO 14644-2:2015

最新版

ISO 14644-2:2015

範囲

ISO 14644 のこの部分では、浮遊微粒子の清浄度の指定分類について ISO 14644-1 に継続的に準拠していることを証明するために、クリーンルームまたはクリーン ゾーンの定期テストの要件を指定しています。 これらの要件は、クリーンルームまたはクリーン ゾーンの分類に関して ISO 14644-1 に記載されているテストを呼び出します。 ISO 14644 のこの部分の要件に従って実行される追加のテストも指定されています。 ユーザーの裁量で適用されるオプションのテストも指定されています。 ISO 14644 のこの部分では、浮遊微粒子の清浄度の指定分類について ISO 14644-1 に継続的に準拠している証拠を提供するために、クリーンルームまたはクリーン ゾーン (以下、施設と呼びます) のモニタリング要件も指定しています。

ISO 14644-2:2000 規範的参照

• ISO 14644-1:1999 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類
• ISO 14644-3 クリーンルームおよび関連する管理された環境 — パート 3: テスト方法*， 2020-06-01 更新するには

ISO 14644-2:2000 発売履歴

• 2015 ISO 14644-2:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 2: 空気清浄度に対するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用
• 2000 ISO 14644-2:2000 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様