JIS B 9920:2002
クリーンルームの空気清浄度の分類
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JIS B 9920:2002
規格番号
JIS B 9920:2002
制定年
2002
出版団体
Japanese Industrial Standards Committee (JISC)
状態
撤回
に置き換えられる
JIS B 9920-1:2019
JIS B 9920-2:2019
最新版
JIS B 9920-1:2019
JIS B 9920-2:2019
交換する
JIS B 9920:1989
範囲
この規格は,クリーンルーム及びこれに関連する制御された環境(以下,クリーンルーム施設という。)における空気清浄度の浮遊微粒子濃度によるクラス分類及びその評価法について規定する。
JIS B 9920:2002 発売履歴
2019
JIS B 9920-1:2019
クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子濃度による空気清浄度の分類
2002
JIS B 9920:2002
クリーンルームの空気清浄度の分類
1989
JIS B 9920:1989
浄化室における浮遊粒子状物質の濃度測定方法及び浄化室における空気清浄度の評価方法
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