EN ISO 14644-7:2004
クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーンエアフード、グローブボックス、分離器および微小環境) ISO 14644-7-2004

規格番号

EN ISO 14644-7:2004

制定年

2004

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

最新版

EN ISO 14644-7:2004

交換する

prEN ISO 14644-7:2004

EN ISO 14644-7:2004 規範的参照

• ISO 10648-2:1994 密閉チャンバーその2: 密閉の分類と検査方法
• ISO 14644-1:1999 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類
• ISO 14644-2:2000 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様
• ISO 14644-3:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 3: 試験方法
• ISO 14644-4:2001 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 4: 設計、建設、試運転
• ISO 14698-1:2003 クリーンルームおよび関連する管理環境 生物学的汚染管理 パート 1: 一般原則と方法
• ISO 14698-2:2003 クリーンルームおよび関連する管理環境 生物汚染管理 パート 2: 生物汚染データの評価と解釈

EN ISO 14644-7:2004 発売履歴

• 2004 EN ISO 14644-7:2004 クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーンエアフード、グローブボックス、分離器および微小環境) ISO 14644-7-2004