ASTM F951-01
シリコンウェーハの半径方向の格子間酸素変化を測定するための標準的な試験方法
- 規格番号
- ASTM F951-01
- 制定年
- 2001
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM F951-02
- 最新版
- ASTM F951-02
- 範囲
- 1.1 このテスト方法は、マイクロエレクトロニクス半導体デバイスの製造に通常使用されるシリコン スライス内の格子間酸素濃度の半径方向の変動に対するテスト サイトの選択とデータ削減手順を対象としています。 1.2 このテスト方法は、テスト メソッドの選択による審査と製造テストの両方を目的としています。 1.3 間質酸素含有量は、試験方法 F 1188 または F 1619、DIN 50438/1、JEIDA 61、または試験当事者によって合意されたその他の手順に従って測定できます。 注 18212;試験方法 F 1366 は赤外線吸収測定に基づいておらず、格子間酸素含有量ではなく総酸素含有量を測定します。 破壊力のある技でもあります。 ただし、試験手順を適切に変更すれば、酸素含有量の半径方向の変化を決定するために使用できます。 1.4 試験片の許容可能な厚さと表面仕上げは、該当する試験方法で指定されています。 この試験方法は、化学的にエッチングされ、片面研磨および両面研磨されたシリコンウェーハまたはスライスでの使用に適しています。 ただし、適切な試験方法が条件として、試験片 (以降、スライスと呼ばれます) を通る赤外線透過率に悪影響を与える可能性のある表面欠陥のないものを使用します。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM F951-01 規範的参照
- ASTM F1188
- ASTM F1366
- ASTM F1619 赤外吸収分光法およびブリュースター角偏光入射により格子間酸素含有量を測定するための標準的な試験方法
- ASTM F533 シリコンウェーハの厚さおよび厚さばらつきの標準的な試験方法
ASTM F951-01 発売履歴
- 1970 ASTM F951-02
- 2001 ASTM F951-01 シリコンウェーハの半径方向の格子間酸素変化を測定するための標準的な試験方法
- 2002 ASTM F951-96 シリコンウェーハのラジアルギャップ酸素変化を測定するための標準的な試験方法
