ASTM F1619-95(2000)e1
赤外吸収分光法およびブリュースター角偏光入射により格子間酸素含有量を測定するための標準的な試験方法
- 規格番号
- ASTM F1619-95(2000)e1
- 制定年
- 1995
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- 2003-08
- 最新版
- ASTM F1619-95(2000)e1
- 範囲
- この規格は、2003 年 5 月に SEMI (www.semi.org) に移管されました1.1 この試験方法は、フーリエ変換赤外 (FT-IR) 分光法による市販の単結晶シリコン ウェーハの格子間酸素含有量による吸収係数の測定を対象としています。 この試験方法では、多重反射を最小限に抑えるために、入射放射線は p 偏光でブリュースター角で試験片に入射します。 注 18212; この試験方法では、電気ベクトルが入射面に平行な放射線は p 偏光放射線として定義されます。 注 28212; 委員会 F01 は、この試験方法の一部の側面が特許の対象となる可能性があると通知されました。 東芝セラミックス株式会社より申請されました。 委員会は、かかる特許の適用可能性または有効性に関していかなる立場もとりませんが、この試験方法のユーザーおよびその他の利害関係者に対し、この試験方法に関連して使用する非特許代替品に関する入手可能な情報を提供するよう求めます。 格子間酸素濃度は 1107 cm1 吸収帯の吸収係数に比例し、ウェーハの格子間酸素含有量は、独立して決定された校正係数を使用して直接導き出すことができます。 1.3 試験片は、指定されたタイプの片面研磨シリコンウェーハです。 SEMI仕様M1に記載されています。 ウェーハの前面は鏡面研磨され、裏面はカットのまま、ラッピング、またはエッチングされます（8.1.1.1 を参照）。 1.4 この試験方法は、室温での抵抗率が 5 937;cm を超えるシリコンウェーハに適用できます。 .1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM F1619-95(2000)e1 規範的参照
ASTM F1619-95(2000)e1 発売履歴
- 1995 ASTM F1619-95(2000)e1 赤外吸収分光法およびブリュースター角偏光入射により格子間酸素含有量を測定するための標準的な試験方法
- 1995 ASTM F1619-95(2000) ブリュースター角で入射する p 偏光を使用した赤外吸収分光法によるシリコン ウェーハの格子間酸素含有量の測定のための標準的な試験方法
