ASTM F533-96
シリコンウェーハの厚さおよび厚さばらつきの標準的な試験方法

規格番号

ASTM F533-96

制定年

1996

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F533-02

最新版

ASTM F533-02a

範囲

1.1 この試験方法は、研磨済みまたは未研磨のシリコンウェーハの厚さの測定と、ウェーハ全体の厚さの変化の推定を対象としています。 1.2 このテスト方法は主に、SEMI 仕様 M1 の寸法および公差要件を満たすウェーハでの使用を目的としています。 ただし、円形のシリコンウェーハや、破損することなく取り扱うことができる任意の直径と厚さの基板に適用できます。 1.3 この試験方法は、接触式および非接触式の両方の測定装置に適しています。 それぞれについて正確な記述が確立されています。 1.4 インチポンド単位で記載された値は標準とみなされます。 括弧内の値は情報提供のみを目的としています。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F533-96 発売履歴

• 1970 ASTM F533-02a
• 2002 ASTM F533-02 シリコンウェーハの厚さおよび厚さばらつきの標準的な試験方法
• 1996 ASTM F533-96 シリコンウェーハの厚さおよび厚さばらつきの標準的な試験方法