AS/NZS ISO 14644.7:2006
クリーンルームおよび関連する管理された環境。 分離装置（クリーンエアフード、グローブボックス、アイソレーター、微小環境）

規格番号

AS/NZS ISO 14644.7:2006

制定年

2006

出版団体

Standard Association of Australia （SAA）

状態

撤回

最新版

AS/NZS ISO 14644.7:2006

範囲

ISO?14644-7:2004 を採用し、分離装置の設計、構造、設置、試験、承認の最小要件を規定しています。

AS/NZS ISO 14644.7:2006 規範的参照

• ISO 10648-2:1994 密閉チャンバーその2: 密閉の分類と検査方法
• ISO 14644-1:1999 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類
• ISO 14644-2:2000 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様
• ISO 14644-3 クリーンルームおよび関連する管理された環境 — パート 3: テスト方法*， 2020-06-01 更新するには
• ISO 14644-4:2001 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 4: 設計、建設、試運転

AS/NZS ISO 14644.7:2006 発売履歴

• 2006 AS/NZS ISO 14644.7:2006 クリーンルームおよび関連する管理された環境。 分離装置（クリーンエアフード、グローブボックス、アイソレーター、微小環境）