GB/T 14140.2-1993
シリコンウェーハ直径測定法 マイクロメーター法 (英語版)
ホーム
GB/T 14140.2-1993
規格番号
GB/T 14140.2-1993
言語
中国語版,
英語で利用可能
制定年
1993
出版団体
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
状態
入れ替わる
2010-06
に置き換えられる
GB/T 14140-2009
最新版
GB/T 14140-2009
範囲
この規格は、マイクロメーターを使用してシリコンウェーハの直径を測定する方法を規定しています。 この規格は、円形のシリコンウェーハの直径の測定に適用されます。 測定範囲はφ25~φ100mmです。 この規格はシリコンウェーハの真円度の測定には適用されません。
GB/T 14140.2-1993 発売履歴
2009
GB/T 14140-2009
シリコンウェーハの直径測定方法
1993
GB/T 14140.2-1993
シリコンウェーハ直径測定法 マイクロメーター法
GB/T 14140.2-1993 - すべての部品
GB/T 14140.1-1993 シリコンウェーハ径測定法 光学投影法
GB/T 14140.2-1993 シリコンウェーハ直径測定法 マイクロメーター法
© 著作権 2024