GB/T 14140.1-1993
シリコンウェーハ径測定法 光学投影法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 14140.1-1993
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1993
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-06
- に置き換えられる
- GB/T 14140-2009
- 最新版
- GB/T 14140-2009
- 範囲
- この規格は、光学式投影機を使用してシリコンウェーハの直径を測定する方法を規定しています。 この規格は、円形のシリコンウェーハの直径の測定に適用されます。 測定範囲はφ40～φ100mmです。 この規格はシリコンウェーハの真円度の測定には適用されません。 この基準は審判の測定方法として使用されます。
GB/T 14140.1-1993 発売履歴
- 2009 GB/T 14140-2009 シリコンウェーハの直径測定方法
- 1993 GB/T 14140.1-1993 シリコンウェーハ径測定法 光学投影法
GB/T 14140.1-1993 シリコンウェーハ径測定法 光学投影法 は GB/T 14140-2009 シリコンウェーハの直径測定方法 に変更されます。
