ASTM E2735-14(2020)
X線光電子分光法に必要なキャリブレーションを選択するための標準ガイド

規格番号

ASTM E2735-14(2020)

制定年

2020

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM E2735-14(2020)

範囲

1.1 このガイドでは、ユーザーと分析者が X 線光電子分光法 (XPS) で意味のある表面化学データを取得し、特定の分析目的とデータ収集時間に合わせて機器を最適化するために役立つ校正と標準を決定できるようにするアプローチについて説明します。 1.2 このガイドは、整理された情報のコレクションまたは一連のオプションを提供するものであり、特定の行動方針を推奨するものではありません。 このガイドは教育や経験に代わるものではなく、専門家の判断と併せて使用する必要があります。 このガイドのすべての側面がすべての状況に適用できるわけではありません。 1.3 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この規格には他の測定単位は含まれません。 1.4 この基準は、特定の専門的サービスの適切性を判断するためのケア基準を表したり置き換えたりすることを目的としたものではなく、プロジェクトの多くの固有の側面を考慮せずにこの文書を適用すべきではありません。 この文書のタイトルにある「標準」という言葉は、その文書が ASTM コンセンサス プロセスを通じて承認されていることのみを意味します。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全、健康、および環境慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。 1.6 この国際規格は、世界貿易機関貿易技術障壁 (TBT) 委員会によって発行された国際標準、ガイドおよび推奨の開発のための原則に関する決定で確立された標準化に関する国際的に認められた原則に従って開発されました。

ASTM E2735-14(2020) 規範的参照

• ASTM E1078 表面分析のための試料の準備と設置手順に関する標準ガイド
• ASTM E1127 オージェ電子分光法における深さプロファイリングの標準ガイド
• ASTM E1217 オージェ電子分光計および一部の X 線光電子分光計で検出される信号のサンプル領域を決定するための標準的な手法
• ASTM E1523 X線光電子分光法における電荷制御および電荷参照技術の標準ガイド
• ASTM E1577 表面分析用のイオンビームパラメータをレポートするための標準ガイド
• ASTM E1634 スパッタリング火炎深さ測定の標準ガイド
• ASTM E1636 拡張ロジック関数を使用して深度プロファイルおよびラインスキャンプロファイルデータを記述するための標準的な手法
• ASTM E1829 表面分析前のサンプル廃棄に関する標準ガイド
• ASTM E2108 X線光電子分光計の電子結合エネルギースケールの標準的な手法
• ASTM E995 スパイラル電子分光法の基本的な抽出技術
• ASTM E996 オージェ電子分光法および X 線光電子分光法データを報告するための標準的な方法
• ISO 10810 表面化学分析 - X 線光電子分光分析ガイド
• ISO 14606 表面化学分析、スパッタ深さプロファイリング、基準材料として層状システムを使用した最適化*， 2022-11-21 更新するには
• ISO 14701 表面化学分析 - X線光電子分光法 - シリコン酸化膜厚測定
• ISO 14976 表面化学分析データ転送フォーマット技術訂正事項 1
• ISO 15470 表面化学分析、X 線光電子分光法、機器の性能パラメーターの説明
• ISO 15472 表面化学分析、X線光電子分光装置、エネルギースケール校正
• ISO 18115-1 表面化学分析用語集 パート 1: 一般用語と分光法で使用される用語*， 2023-06-01 更新するには
• ISO 18115-2 表面化学分析用語集 パート 2: 走査型プローブ顕微鏡の用語*， 2021-12-21 更新するには
• ISO 18116 表面化学分析 - 分析用試料の準備と組み立てに関するガイドライン
• ISO 18117 表面化学分析 サンプル処理前の分析
• ISO 18118 表面化学分析 — オージェ電子分光法および X 線光電子分光法 — 定量分析のための実験的に決定された相対感度係数の使用に関するガイド*， 2024-02-28 更新するには
• ISO 18516 表面化学分析 - ナノメートルからミクロンの範囲でのビームベースの方法の横方向の分解能と鮮鋭度の決定
• ISO 19318 表面化学分析、X線光電子分光法、帯電制御・帯電補正方法に関する報告*， 2021-05-31 更新するには
• ISO 20903 表面化学分析 - オージェ電子分光法および X 線光電子分光法 - ピーク強度と結果報告時に必要な情報を決定するために使用される方法
• ISO 21270 表面化学分析 X線光電子分光装置とオージェ電子分光装置 強度スケールの直線性
• ISO 24237 表面化学分析、X線光電子分光法、強度の再現性と安定性
• ISO/TR 15969 表面化学分析 - 深さ分析 - スパッタ深さの測定*， 2021-03-17 更新するには
• ISO/TR 18392 表面化学分析、X 線光電子分光法、バックグラウンド測定手順
• ISO/TR 19319 表面化学分析 - ビームベースの方法における横方向の分解能と鮮鋭度を決定するための基本的な方法

ASTM E2735-14(2020) 発売履歴

• 2020 ASTM E2735-14(2020) X線光電子分光法に必要なキャリブレーションを選択するための標準ガイド
• 2014 ASTM E2735-14 線光電子分光法 40;XPS 41 テストに必要なキャリブレーションを選択するための標準ガイド
• 2013 ASTM E2735-13 X線光電子分光法（XPS）実験に必要なキャリブレーションを選択するための標準ガイド