ISO 24237:2005
表面化学分析、X線光電子分光法、強度の再現性と安定性

規格番号

ISO 24237:2005

制定年

2005

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 24237:2005

範囲

この国際規格は、単色化されていない Al または Mg の X 線、または単色化された Al の X 線を使用して、一般分析目的の X 線光電子分光計の強度スケールの再現性と不変性を評価する方法を規定しています。 スパッタ洗浄用のイオンガンを組み込んだ機器にのみ適用されます。 強度/エネルギー応答関数の校正を目的としたものではありません。 この校正は、機器の製造元または他の組織によって行われる場合があります。 この手順は、機器の使用状況に応じて強度/エネルギー応答関数が一定に保たれる精度を評価および確認するためのデータを提供します。 この恒常性に影響を与える可能性のある機器設定の一部についてガイダンスが提供されます。

ISO 24237:2005 発売履歴

• 2005 ISO 24237:2005 表面化学分析、X線光電子分光法、強度の再現性と安定性