ASTM E1636-94(1999) 拡張ロジック関数を使用して深度プロファイルおよびラインスキャンプロファイルデータを記述するための標準的な手法規格と仕様

範囲: 1.1 この実践では、スパッタ深さプロファイル界面データを分析し、界面領域の形状を正確に特徴付けるための系統的な方法を取り上げます。インターフェイスプロファイルデータは、適切な分析関数を使用して記述されます。この関数のパラメータは、界面の幅、その非対称性、および元の表面からの深さを定義します。異なる材料上で異なる機器や技術を使用して取得された界面の組成プロファイルの形状を明確に比較および解釈できるようにするために、この手法の使用が推奨されます。 1.2 この実践は、外側の材料の測定濃度が 100 から 0% に変化し、内側の材料が 0 から 0% に変化する場合の 2 つの異なる材料間の界面で得られる深さプロファイルデータの形状を記述するために使用することを目的としています。 100%。 1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

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