ISO 21501-4:2018 粒度分布の測定単一粒子光干渉法パート 4: 無菌空間光散乱粉塵粒子カウンター規格と仕様

範囲: この文書では、空気中に浮遊する粒子のサイズ分布と粒子数濃度を測定するために使用される光散乱浮遊粒子計数器 (LSAPC) の校正および検証方法について説明します。この文書で説明されている光散乱法は、単一粒子の測定に基づいています。この方法で測定される粒子の典型的なサイズ範囲は、粒子サイズが 0.1 μm ～ 10 μm です。この文書に準拠した機器は、ISO 14644-1 および ISO 14644-2 に準拠したクリーンルームおよび関連管理環境の空気清浄度の分類、およびさまざまな環境における粒子の数とサイズ分布の測定に使用されます。次のパラメータはこの文書の範囲内です。 — サイズ設定エラー。 — 計数効率; 　——サイズ解像度; 　——誤ったカウント; 　——最大粒子数濃度; 　——サンプリング流量エラー; 　——サンプリング時間エラー; 　——回答率; 　——校正間隔; 　——テストと校正の結果を報告する。

ISO 21501-4:2018 規範的参照

ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
ISO 14644-2:2015 クリーンルームと関連する管理環境パート 2: 空気清浄度に対するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用
ISO 15900:2009 粒子サイズ分布の測定、エアロゾル粒子の示差電気活動分析
ISO 27891:2015 エアロゾル粒子数濃度、凝縮粒子カウンターの校正
ISO 9276-1:1998 粒度分析結果の表現その1：グラフ表現
ISO/IEC 17025:2017 試験および校正ラボの能力に関する一般要件
ISO/IEC GUIDE 98-3:2008 測定の不確かさパート 3: 測定の不確かさの表現に関するガイドライン (GUM-1995)
ISO/IEC GUIDE 99:2007 計測学の国際語彙基本的および一般的な概念および関連用語 (VIM)
JIS B 9921:2010 浄化エリア用の光散乱空気粒子カウンター