VDI 2840-2005
カーボンフィルム - 基本、コーティングの種類と特性

規格番号

VDI 2840-2005

制定年

2005

出版団体

Association of German Mechanical Engineers

状態

撤回

に置き換えられる

VDI 2840-2012

最新版

VDI 2840-2023

交換する

VDI 2840-2004

範囲

現在の VDI ガイドラインの対象となっているのは、真空蒸着法（PVD または CVD）により成膜されるカーボン膜です。 これらの最新のコーティング システムは、スケールの一方の端で非常に硬いダイヤモンド フィルムから始まり、他方の端で柔らかいグラファイト フィルムに到達する前に、ほとんどが水素化されたさまざまなアモルファス カーボン フィルムを通過します。 このガイドラインは 2 つの目的を追求しています。 第 1 に、カーボン フィルムの統一された分類と命名法を提供することです。 第二に、コーティングされたワークピースの将来のユーザーが、適切なカーボン フィルムの種類を事前に選択できるようにする必要があります。 基本的に、このガイドラインは工業規模で製造されるコーティングを扱います。 これは、例えば、まだ産業開発が進んでいない、または現在非常に限られた量しか含まれていない aC:X および ta-C:X フィルム (X = Si、O、F、N、B など) を除外する必要があることを意味します。 応用。

VDI 2840-2005 規範的参照

• DIN 50359-1:1997 
• DIN 50431:1988 半導体材料の検査 プローブを直線に並べた4探針/DC法を使用した単結晶シリコンまたはゲルマニウム単結晶の抵抗率測定
• DIN EN ISO 14577-1:2003 金属材料 硬度と材料パラメータの機器押し込み試験 パート 1: 試験方法
• DIN EN ISO 1463:2004 金属および酸化物のコーティング コーティングの厚さの測定 顕微鏡法
• DIN EN ISO 2064:2000 金属およびその他の無機コーティング - 厚さ測定の定義と一般要件
• DIN EN ISO 3497:2001 金属皮膜、皮膜厚さ測定、X線分光測定
• DIN EN ISO 3543:2001 金属および非金属皮膜 皮膜厚さ測定 ベータ線後方散乱法
• DIN EN ISO 3882:2003 金属およびその他の無機コーティング - 厚さ測定方法の見直し
• DIN EN ISO 4288:1998 幾何製品仕様書 (GPS) 表面構造: プロファイル法 表面構造評価の規則と手順
• DIN ISO 513:2005 特定刃先の金属切削における硬質切削材料の分類と用途 切削形状グループと用途グループの名称

VDI 2840-2005 発売履歴

• 2023 VDI 2840-2023 カーボンフィルム - 基礎、フィルムの種類、特性
• 2012 VDI 2840-2012 カーボンフィルム - 基礎、フィルムの種類と特性
• 2005 VDI 2840-2005 カーボンフィルム - 基本、コーティングの種類と特性
• 2004 VDI 2840-2004 カーボンコーティングの基礎知識＠コーティングの種類と性質