VDI 2840-2012 カーボンフィルム - 基礎、フィルムの種類と特性規格と仕様

範囲: このガイドラインは、化学蒸着または物理蒸着 (CVD または PVD) の手順で蒸着される、カーボンからなる現代のコーティングの典型的な特性を扱います。フォーカルポイントはすべてのカーボンフィルムの分類であり、物理的および化学的特性に基づいてさまざまなフィルムタイプを整理します。このガイドラインには、特にダイヤモンドライクカーボン (DLC) とダイヤモンドフィルムに関する統一された分類と命名法が含まれています。一方、潜在的なユーザーは、コーティングされたワークピースやツールに適したカーボンフィルムのタイプを事前に選択できます。特徴部分とは、今日工業的に製造されている個々のフィルムの種類の重要な特性を指します。

VDI 2840-2012 規範的参照

DIN 50015:1975 気候とその技術的応用一定の試験環境
DIN 50016:1962 材料、構造部品、装置の試験湿気が多く変化しやすい気候での試験方法
DIN 50017:1982
DIN 50021:1988 各種塩化ナトリウム溶液を用いた噴霧試験
DIN 50431:1988 半導体材料の検査プローブを直線に並べた4探針/DC法を使用した単結晶シリコンまたはゲルマニウム単結晶の抵抗率測定
DIN EN 15042-1:2006 表面波によるコーティングの厚さ測定と表面特性評価パート 1: レーザー誘起表面弾性波法を使用した個々のフィルム層の弾性定数、密度、および厚さを決定するためのガイドライン
DIN EN ISO 1463:2004 金属および酸化物のコーティングコーティングの厚さの測定顕微鏡法
DIN EN ISO 2064:2000 金属およびその他の無機コーティング - 厚さ測定の定義と一般要件
DIN EN ISO 2128:2010 アルミニウムおよびアルミニウム合金の陽極酸化陽極酸化膜の厚さの測定スプリットビーム顕微鏡による非破壊測定法 (ISO 2128-2010) ドイツ語版 EN ISO 2128-2010
DIN EN ISO 3497:2001 金属皮膜、皮膜厚さ測定、X線分光測定
DIN EN ISO 3543:2001 金属および非金属皮膜皮膜厚さ測定ベータ線後方散乱法
DIN EN ISO 3882:2003 金属およびその他の無機コーティング - 厚さ測定方法の見直し