GOST R ISO 14644-1-2017
クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子濃度による空気清浄度の分類

規格番号

GOST R ISO 14644-1-2017

制定年

2017

出版団体

RU-GOST R

最新版

GOST R ISO 14644-1-2017

GOST R ISO 14644-1-2017 規範的参照

• ISO 14644-2:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 2: 空気清浄度に対するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用
• ISO 14644-7:2004 クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、分離器、および微小環境)

GOST R ISO 14644-1-2017 発売履歴

• 2017 GOST R ISO 14644-1-2017 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子濃度による空気清浄度の分類
• 2000 GOST R ISO 14644-1-2000 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子濃度による空気清浄度の分類