DIN 32567-5:2015
マイクロシステム製造装置の材料が光学的および触覚的寸法計測に及ぼす影響の決定 第 5 部：光学的測定装置の補正値の導出
- 規格番号
- DIN 32567-5:2015
- 制定年
- 2015
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- に置き換えられる
- DIN 32567-5:2015-06
- 最新版
- DIN 32567-5:2015-06
- 交換する
- DIN 32567-5:2014
DIN 32567-5:2015 規範的参照
- DIN 32564-1:2004 マイクロシステム製造装置 用語と定義 第 1 部: マイクロシステム技術の一般用語
- DIN 32567-1:2015 マイクロシステム製造装置の光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 パート 1: 材料および手順に特有の影響の定性的推定
- DIN EN ISO 25178-602:2011 技術製品の幾何学的仕様 (GPS) - 表面テクスチャ: フラット パート 602: 非接触 (共焦点カラー プローブ) 機器の公称特性 (ISO 25178-602-2010)、ドイツ語版 EN ISO 25178-602-2010
- DIN EN ISO 25178-603:2014 技術製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ面パート 603 非接触 (位相シフト干渉計による顕微鏡検査) 機器の公称特性 (ISO 25178-603-2013) ドイツ語版 EN ISO 25178-603-2013
- DIN EN ISO 25178-604:2013 技術製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ面パート 604 非接触公称特性評価 (コヒーレンス走査干渉計) 機器 (ISO 25178-604-2013) ドイツ語版 EN ISO 25178-604-2013
- DIN EN ISO 25178-605:2014 幾何学的製品仕様 (GPS)、表面構造: 平面、パート 605: 非接触 (コヒーレンス走査干渉計) 機器の公称特性 (ISO 25178-605-2014)、ドイツ語版 EN ISO 25178-605 -2014
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 微小トポグラフィーの光学測定 共焦点顕微鏡の校正と粗さ測定の深さ設定基準
DIN 32567-5:2015 発売履歴
- 2015 DIN 32567-5:2015-06 マイクロシステム製造装置の材料が光学的および触覚的寸法計測に及ぼす影響の決定 第 5 部：光学的測定装置の補正値の導出
- 2015 DIN 32567-5:2015 マイクロシステム製造装置の材料が光学的および触覚的寸法計測に及ぼす影響の決定 第 5 部：光学的測定装置の補正値の導出
- 1970 DIN 32567-5 E:2014-11 マイクロシステムの製造装置 - 光学的および触覚的寸法計測に対する材料の影響の決定 - 第 5 部: 光学的測定装置の補正値の導出
- 0000 DIN 32567-5:2014
