VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010
微小トポグラフィーの光学測定 共焦点顕微鏡の校正と粗さ測定の深さ設定基準

規格番号

VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010

制定年

2010

出版団体

Association of German Mechanical Engineers

最新版

VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010

範囲

このガイドラインには、共焦点顕微鏡の校正手順と粗さ測定の深さ設定基準が記載されており、それによって国家基準に対する測定システムのトレーサビリティの基礎が確立されています。 まず、校正能力の決定手順について説明する。 さらに、校正の基本条件と校正手順の最小要件が指定されています。 最後に、校正レポートの要件を指定します。 測定の不確かさを決定するための GUM 等角モデルによって説明が完了します。

VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 発売履歴

• 2010 VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 微小トポグラフィーの光学測定 共焦点顕微鏡の校正と粗さ測定の深さ設定基準
• 2009 VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2009 Optische Messtechnik and Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen fuer die Rauheitsmessung