GB/T 14851-1993
電子産業用ガスホスフィン (英語版)
- 規格番号
- GB/T 14851-1993
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1993
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-05
- に置き換えられる
- GB/T 14851-2009
- 最新版
- GB/T 14851-2009
- 範囲
- この規格は、ホスフィン製品の技術要件、試験方法、検査規則、安全要件、梱包、マーキング、輸送および保管を規定しています。 この規格は、亜リン酸の熱分解、リン化物の加水分解、リン元素と水またはアルカリとの反応により得られ、精製されたホスフィン製品に適用されます。 主に半導体デバイスや集積回路の製造におけるエピタキシー、イオン注入、ドーピングに使用されます。 ホスフィンは非常に有毒で可燃性の無色のガスで、腐った魚のような臭いがあり、空気中で高濃度になると自然発火する可能性があります。 分子式：PH3 相対分子量：33.9975（1989年の国際原子量による）
GB/T 14851-1993 発売履歴
- 2009 GB/T 14851-2009 電子産業用ガス ホスフィン
- 1993 GB/T 14851-1993 電子産業用ガスホスフィン
