GB/T 14851-2009
電子産業用ガス ホスフィン (英語版)
- 規格番号
- GB/T 14851-2009
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2009
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 14851-2009
- 交換する
- GB/T 14851-1993
- 範囲
- この規格は、エレクトロニクス産業で使用されるホスフィンの技術要件、試験方法、包装、マーキング、保管、輸送および安全性を規定しています。 この規格は、亜リン酸の熱分解、リン化物の加水分解、リン元素と水またはアルカリとの反応により得られ、精製されたホスフィン製品に適用されます。 主に半導体デバイスや集積回路の製造におけるエピタキシー、イオン注入、ドーピングに使用されます。
GB/T 14851-2009 規範的参照
- GB 14193-2009 液化ガスボンベ充填規制
- GB 190-2009 危険物包装標識
- GB 5099-1994 スチールシームレスガスシリンダー
- GB 7144-1999 ガスシリンダーのカラーマーク
- GB/T 3723-1999 工業用化学製品のサンプリングに関する一般的な安全原則
- GB/T 8984-2008 ガス中の一酸化炭素、二酸化炭素、炭化水素の測定 ガスクロマトグラフィー
GB/T 14851-2009 発売履歴
- 2009 GB/T 14851-2009 電子産業用ガス ホスフィン
- 1993 GB/T 14851-1993 電子産業用ガスホスフィン
