GB/T 14603-1993
電子産業用ガス三フッ化ホウ素 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 14603-1993
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1993
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-05
- に置き換えられる
- GB/T 14603-2009
- 最新版
- GB/T 14603-2009
- 範囲
- この規格は、三フッ化ホウ素製品の技術要件、試験方法、検査規則、梱包、マーキング、輸送、保管および安全要件を規定しています。 この規格は、ホウフッ化ナトリウムを原料として熱分解法により製造された三フッ化ホウ素に適用されます。 主に半導体デバイスや集積回路の製造におけるイオン注入やドーピングに使用されます。 分子式：BF3 相対分子量：67.805（1989年の国際相対原子量による）
GB/T 14603-1993 発売履歴
- 2009 GB/T 14603-2009 電子産業用ガス 三フッ化ホウ素
- 1993 GB/T 14603-1993 電子産業用ガス三フッ化ホウ素
