GB/T 14603-2009
電子産業用ガス 三フッ化ホウ素 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 14603-2009
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2009
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 14603-2009
- 交換する
- GB/T 14603-1993
- 範囲
- この規格は、エレクトロニクス産業で使用される三フッ化ホウ素の技術要件、試験方法、検査規則、標識、梱包、輸送、保管および安全要件を指定します。 この規格は、フッ素ガスと単体ホウ素を原料として直接配合・精製して製造される三フッ化ホウ素に適用されます。 ホウフッ化ホウ素を原料とし、ホウフッ化ナトリウムを熱分解して得られる三フッ化ホウ素を精製したもの。 主に半導体デバイスや集積回路の製造におけるイオン注入やドーピングに使用されます。
GB/T 14603-2009 規範的参照
- GB 14194-2006 ガスシリンダー充填に関する恒久的な規制
- GB 190-2009 危険物包装標識
- GB 7144-1999 ガスシリンダーのカラーマーク
- GB/T 3723-1999 工業用化学製品のサンプリングに関する一般的な安全原則
GB/T 14603-2009 発売履歴
- 2009 GB/T 14603-2009 電子産業用ガス 三フッ化ホウ素
- 1993 GB/T 14603-1993 電子産業用ガス三フッ化ホウ素
