KS C IEC 62047-22:2016
半導体デバイス「微小電気機械デバイス」第18回:薄膜材料の曲げ試験方法

規格番号
KS C IEC 62047-22:2016
制定年
2016
出版団体
Korean Agency for Technology and Standards (KATS)
状態
 2021-01
に置き換えられる
KS C IEC 62047-22-2021
最新版
KS C IEC 62047-22-2021

KS C IEC 62047-22:2016 発売履歴

  • 2021 KS C IEC 62047-22-2021 半導体デバイス ― 微小電気機械デバイス ― 第18回 薄膜材料の曲げ試験方法
  • 2016 KS C IEC 62047-22:2016 半導体デバイス「微小電気機械デバイス」第18回:薄膜材料の曲げ試験方法



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