KS C IEC 62047-22-2021
半導体デバイス ― 微小電気機械デバイス ― 第18回 薄膜材料の曲げ試験方法

規格番号

KS C IEC 62047-22-2021

制定年

2021

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS C IEC 62047-22-2021

KS C IEC 62047-22-2021 発売履歴

• 2021 KS C IEC 62047-22-2021 半導体デバイス ― 微小電気機械デバイス ― 第18回 薄膜材料の曲げ試験方法
• 2016 KS C IEC 62047-22:2016 半導体デバイス「微小電気機械デバイス」第18回：薄膜材料の曲げ試験方法