BS EN ISO 14644-14:2016
クリーンルームおよび関連する管理された環境浮遊粒子濃度を使用した機器の適合性の評価

規格番号

BS EN ISO 14644-14:2016

制定年

2016

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN ISO 14644-14:2016

BS EN ISO 14644-14:2016 規範的参照

• ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
• ISO 14644-3 *， 2019-08-01 更新するには
• ISO 14644-7:2004 クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、分離器、および微小環境)
• ISO 14644-9 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 9: 粒子濃度に基づく表面清浄度の評価*， 2022-05-09 更新するには
• ISO 8573-8:2004 圧縮空気 第 8 部：質量濃縮法による固体粒子含有量の測定試験方法
• JIS B 9926 クリーンルーム 機械装置の移動により発生する粉塵の試験方法
• SEMI F70-0611 

BS EN ISO 14644-14:2016 発売履歴

• 2016 BS EN ISO 14644-14:2016 クリーンルームおよび関連する管理された環境浮遊粒子濃度を使用した機器の適合性の評価