ASTM D5544-16
高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
- 規格番号
- ASTM D5544-16
- 制定年
- 2016
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM D5544-16(2023)
- 最新版
- ASTM D5544-16(2023)
- 範囲
- 5.1&# いわゆる高純度の水であっても汚染物質は含まれています。 常に存在するわけではありませんが、これらの汚染物質は次の 1 つまたは複数の原因となる可能性があります: カルシウム、マグネシウム、ナトリウム、カリウム、マンガン、アンモニウム、重炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩、塩化物およびフッ化物イオン、第二鉄および第一鉄イオンなどの溶解した活性イオン物質。 およびケイ酸塩。 農薬、除草剤、可塑剤、スチレンモノマー、脱イオン樹脂材料などの溶解有機物質。 シリカなどのコロイド懸濁液。 この試験方法は、1 台の機器を使用して高純度水中のこれらの汚染物質をリアルタイムで監視することを容易にしますが、この試験方法ではさまざまな残留汚染源を特定したり、溶存ガスや浮遊粒子を検出したりすることはできません。 5.2 この試験方法は、計量した量の人工汚染物質 (塩化カリウム) を使用して校正されます。 塩化カリウムの密度は、高純度水に含まれる汚染物質としてはかなり典型的なものです。 ただし、この試験方法の反応は明らかに塩化カリウムに対する反応に基づいています。 高純度水に含まれる実際の汚染物質に対する反応は、試験方法の校正とは異なる場合があります。 この試験方法は、この点において他の多くの分析試験方法と変わりません。 5.3 他のモニタリング方法と合わせて、この試験方法は超純水システムにおけるRAEの発生源を診断するのに役立ちます。 特に、この試験方法は、一次陰イオンまたは混合床脱イオン装置の流出液からのコロイダルシリカの漏出などの漏れを検出するために使用できます。 さらに、この試験方法は、新しい液体フィルターのすすぎ時間を測定するために使用され、バッチタイプのサンプリングに適応されています（この適応については、この試験方法では説明されていません）。 5.4 高純度水の汚染を即座に示すことは、部品の製造に高純度水を使用する業界にとって重要です。 汚染の問題を解決するために生産を直ちに停止することができます。 新興ナノ粒子技術業界もこの情報から恩恵を受けるでしょう。 1.1 この試験方法は、半導体および関連産業で使用される高純度水に含まれる溶存有機物、無機物、およびコロイド状物質の定量を対象としています。 この物質は蒸発後の残留物 (RAE) と呼ばれます。 試験法の範囲は0.001μL(ppb)～60&#μL(ppb)です。 1.2 この試験方法では、連続リアルタイムモニタリング技術を使用してRAEの濃度を測定します。 加圧された高純度水のサンプルは、超清浄なフィッティングとチューブを介して試験方法の装置に連続的に供給されます。 したがって、大気からの汚染物質がサンプルに侵入することが防止されます。 試験方法に関する一般的な情報と、RAE の連続測定に関する文献レビューが公開されています。 2 1.3 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 括弧内の値はインチポンド単位への数学的変換であり、情報提供のみを目的としており、標準とはみなされません。
ASTM D5544-16 規範的参照
- ASTM D1129 水に関する標準用語
- ASTM D2777 D-19 水道委員会による適用手法の精度と偏りの決定
- ASTM D3370 密閉パイプラインによる給水の標準的な慣行
- ASTM D3864 水分析用の連続オンライン監視システムの標準ガイド
- ASTM D3919 黒鉛炉原子吸光光度法による水中の微量元素測定の標準的な方法
- ASTM D5127 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド
- ASTM E1184 電気加熱（黒鉛加熱炉）原子吸光分析
ASTM D5544-16 発売履歴
- 2023 ASTM D5544-16(2023) 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
- 2016 ASTM D5544-16 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
- 2011 ASTM D5544-11 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
- 2005 ASTM D5544-05 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
- 1994 ASTM D5544-94(2004) 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
- 1994 ASTM D5544-94(1999)e1 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法
