ASTM D5544-94(1999)e1 高純水蒸発後の残留物をオンラインで測定するための標準試験方法規格と仕様

範囲: 1.1 この試験方法は、半導体、航空宇宙、その他の産業で使用される高純度水に含まれる溶存有機物、無機物、およびコロイド状物質の定量を対象としています。この物質は蒸発後の残留物 (RAE) と呼ばれます。試験法の範囲は0.1μg/L(ppb)〜20mg/L(ppm)である。 1.2 この試験方法は、RAE の濃度を測定するために継続的なリアルタイム監視技術を使用します。加圧された高純度水のサンプルが、超清浄なフィッティングとチューブを介して試験方法の装置に連続的に供給されます。したがって、大気からの汚染物質がサンプルに侵入することが防止されます。試験方法に関する一般情報とRAEの連続測定に関する文献レビューが公開されています。 1.3 SI 単位で記載されている値は標準とみなします。括弧内の値は情報提供のみを目的としています。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。特定の危険性に関する記述については、セクション 8 を参照してください。

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