GB/T 14144-1993
シリコン結晶中の格子間酸素含有量の子午線変化を測定する方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 14144-1993
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1993
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-06
- に置き換えられる
- GB/T 14144-2009
- 最新版
- GB/T 14144-2009
- 範囲
- この規格は、シリコン結晶内の格子間酸素含有量の半径方向の変化の測定方法を指定します。 この規格は、室温抵抗率が 0.1Ω・cm を超えるシリコン結晶の格子間酸素含有量の半径方向の変化の測定に適用されます。 測定範囲は3.5×1015at・cm3からシリコン中の格子間酸素の最大固溶度までです。
GB/T 14144-1993 発売履歴
- 2009 GB/T 14144-2009 シリコン結晶中の格子間酸素含有量の半径方向の変化を測定する方法
- 1993 GB/T 14144-1993 シリコン結晶中の格子間酸素含有量の子午線変化を測定する方法
