GB/T 14144-2009
シリコン結晶中の格子間酸素含有量の半径方向の変化を測定する方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 14144-2009
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2009
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 14144-2009
- 交換する
- GB/T 14144-1993
- 範囲
- この規格は、赤外分光法を使用して、シリコン結晶内の格子間酸素含有量の半径方向の変化を測定します。 この標準では、嫌気性参照サンプルと校正機器用の一連の認定標準の使用が必要です。 この規格は、室温抵抗率が 0.1Ω・cm を超える n 型シリコン単結晶および室温抵抗率が 0.5Ω・cm を超える p 型シリコン単結晶の格子間酸素含有量の測定に適用されます。 酸素含有量を測定するためのこの標準の有効範囲は、1×10 at.cm からシリコン結晶中の格子間酸素の最大固溶度までです。
GB/T 14144-2009 規範的参照
- GB/T 14264-2009 半導体材料用語
- GB/T 1557-2006 シリコン結晶中の格子間酸素量の赤外吸収測定法
GB/T 14144-2009 発売履歴
- 2009 GB/T 14144-2009 シリコン結晶中の格子間酸素含有量の半径方向の変化を測定する方法
- 1993 GB/T 14144-1993 シリコン結晶中の格子間酸素含有量の子午線変化を測定する方法
