ASTM F1710-08(2016)
高質量分解能グロー放電質量分析法を使用した、電子グレードのチタン中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法

規格番号

ASTM F1710-08(2016)

制定年

2008

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1710-08(2016)

範囲

5.1 この試験方法は、薄膜メタライゼーションプロセスで使用される材料 (スパッタリングターゲット、蒸発源など) の純度を評価するために、半導体産業での応用を目的としています。 この試験方法は、関係者間で合意されたとおり、担当技術委員会が想定していない追加の用途にも役立つ可能性があります。 5.2&# この試験方法は、純チタン中の微量不純物を測定するためのプロトコルとパラメーターを統一するために、さまざまな研究室の GDMS アナリストが使用することを目的としています。 目的は、分析データの研究室間の合意を改善することです。 このテスト方法は、GDMS 分析のユーザーが決定方法と、報告された GDMS データの重要性と信頼性を理解するための補助として使用することも目的としています。 5.3 ほとんどの金属種の場合、日常分析の検出限界は 0.01 重量 ppm 程度です。 特別な予防措置を講じれば、検出限界をサブ ppb レベルにすることが可能です。 5.4 この試験方法は、電子グレードのチタン材料の生産者およびユーザーの審査方法として使用できます。 1.1 この試験方法は、高純度チタン中の微量金属不純物の濃度の測定を対象としています。 1.2 この試験方法は、磁気セクターグロー放電質量分析計 (GDMS) による分析に関連します。 1.3 チタン マトリックスは、金属不純物に関して 99.9 重量 % (3N グレード) またはそれ以上の純度でなければなりません。 アルミニウムや鉄などの主要な合金成分の濃度が 1000 重量 ppm を超えてはなりません。 1.4&# このテスト方法には、GDMS 分析を完了するために必要なすべての情報が含まれているわけではありません。 必要な感度を達成するには、経験豊富なオペレーターが巧みに使用する高度なコンピューター制御の実験装置が必要です。 この試験方法は、高純度チタン分析の信頼性に影響を与えると担当技術委員会によって知られている特定の要素 (たとえば、試料の準備、相対感度係数の設定、感度限界の決定など) をカバーしています。 1.5&# この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1710-08(2016) 規範的参照

• ASTM E1257 分光化学分析による表面処理用研磨材の評価の標準ガイド
• ASTM E135 金属、鉱石および関連材料の分析化学に関する標準用語
• ASTM E173 
• ASTM E180 工業用化学物質の分析および試験のための ASTM 方法の精度を決定するための標準実務
• ASTM E691 試験方法の精度を決定するための研究所間研究

ASTM F1710-08(2016) 発売履歴

• 2008 ASTM F1710-08(2016) 高質量分解能グロー放電質量分析法を使用した、電子グレードのチタン中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法
• 2008 ASTM F1710-08 高品質分解能グロー放電質量分析法を使用した、電子グレードのチタン中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法
• 1997 ASTM F1710-97(2002) 高分解能発光質量分析法を使用した電子グレードのチタン中の微量金属不純物の標準試験方法
• 1997 ASTM F1710-97 高分解能発光質量分析法を使用した電子グレードのチタン中の微量金属不純物の標準試験方法