ASTM E766-14e1
走査型電子顕微鏡の倍率を校正するための標準的な方法
- 規格番号
- ASTM E766-14e1
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM E766-14(2019)
- 最新版
- ASTM E766-14(2019)
- 範囲
- 4.1&# この方法を適切に使用すると、10 ～ 50,000 倍の倍率範囲内で 58201;% 以上の精度で校正された倍率が得られます。 4.2&# NIST-SRM 484 などの国際/国内標準にトレーサブルな校正標本を使用すると、動作条件の校正範囲にわたって 58201;% を超える正確な倍率が得られます。 4.3 校正された倍率または寸法測定の精度は、この実践で使用される校正試料の精度よりも劣ります。 4.4 精度を校正試料の精度に近づけるには、対象の試料の画像化に使用したものと同じ動作条件（加速電圧、作動距離、倍率）でこの方法を適用する必要があります。 4.5&# この慣行を適用する倍率と動作条件の標準範囲、およびこの慣行が適用される望ましい精度を定義することは、この慣行を使用する各施設の義務です。 標準動作条件には、加速電圧、作動距離、倍率、撮像モードなど、オペレータが制御できるパラメータが含まれている必要があります。 1.1 この演習では、走査型電子顕微鏡の倍率の校正に必要な一般的な手順を説明します。 実際の倍率と表示された倍率の関係は、動作条件の複雑な関数です2。 したがって、この方法は、使用する標準動作条件の各セットに適用する必要があります。 1.2&# SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この規格には他の測定単位は含まれません。 1.3&# この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM E766-14e1 規範的参照
- ASTM E177 屋外騒音測定を実施するための測定計画策定のための標準ガイド
- ASTM E29 ガスクロマトグラフィー質量分析法およびフーリエ変換赤外分光法による無機粉末中の有機化合物の分析のための標準試験法
- ASTM E456 統計用語と関連用語
- ASTM E691 試験方法の精度を決定するための研究所間研究
- ASTM E7 金属組織学に関する標準用語
ASTM E766-14e1 発売履歴
- 2019 ASTM E766-14(2019) 走査型電子顕微鏡の倍率を校正するための標準的な方法
- 2014 ASTM E766-14e1 走査型電子顕微鏡の倍率を校正するための標準的な方法
- 2014 ASTM E766-14 走査型電子顕微鏡の倍率校正の標準方法
- 1998 ASTM E766-98(2008)e1 走査型電子顕微鏡の倍率の標準校正仕様
- 1998 ASTM E766-98(2003) 走査型電子顕微鏡の倍率の校正
- 1998 ASTM E766-98 走査型電子顕微鏡の倍率の校正
