ASTM E766-98
走査型電子顕微鏡の倍率の校正

規格番号

ASTM E766-98

制定年

1998

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E766-98(2003)

最新版

ASTM E766-14(2019)

範囲

1.1 この実習は、国立標準技術研究所 (NIST) の校正試料である標準標準物質 (SRM)484 を使用して走査型電子顕微鏡 (SEM) の倍率を校正するように設計されています。 実際の倍率と SEM 読み取り上で示される倍率の関係は倍率によって異なる場合があるため、この方法は実際の倍率が必要な各倍率に適用する必要があります。 1.2 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E766-98 発売履歴

• 2019 ASTM E766-14(2019) 走査型電子顕微鏡の倍率を校正するための標準的な方法
• 2014 ASTM E766-14e1 走査型電子顕微鏡の倍率を校正するための標準的な方法
• 2014 ASTM E766-14 走査型電子顕微鏡の倍率校正の標準方法
• 1998 ASTM E766-98(2008)e1 走査型電子顕微鏡の倍率の標準校正仕様
• 1998 ASTM E766-98(2003) 走査型電子顕微鏡の倍率の校正
• 1998 ASTM E766-98 走査型電子顕微鏡の倍率の校正