GB/T 13387-1992
電子材料ウエハの基準面長の測定方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 13387-1992
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1992
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-06
- に置き換えられる
- GB/T 13387-2009
- 最新版
- GB/T 13387-2009
- 範囲
- この規格は、電子材料ウエハの基準面の長さの測定方法を規定したものです。 この規格は、さまざまな直径のシリコン研磨ディスク、研削ディスク、切断ディスクの基準面長さの測定に適用されます。 また、ガリウムヒ素、サファイア、ガドリニウムガリウムガーネットなどの材料ウェハの基準面長の測定にも適しています。
GB/T 13387-1992 発売履歴
- 2009 GB/T 13387-2009 シリコン等の電子材料ウエハの基準面長の測定方法
- 1992 GB/T 13387-1992 電子材料ウエハの基準面長の測定方法
