EN ISO 14644-2:2015
クリーンルームと関連する管理された環境 パート 2: 空気清浄度に関連するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用

規格番号

EN ISO 14644-2:2015

制定年

2015

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

最新版

EN ISO 14644-2:2015

交換する

FprEN ISO 14644-2:2015

範囲

ISO 14644 のこの部分では、浮遊粒子の濃度を測定または影響を与えるパラメータに基づいて、粒子濃度による空気清浄度の観点から、クリーン ルームまたはクリーン エリアのパフォーマンスに関するモニタリング計画の最小要件を指定します。 ISO 14644 のこの部分では、次のような側面の状態監視はカバーされていません。 B. 振動またはエンジニアリング システムの一般的なメンテナンス。 0.1 µm ～ 5 µm の範囲の粒子サイズの指定された下限しきい値 (検出限界) を超える粒子のグループを監視することは意図されていません。 超微粒子 (0.1 μm 未満の粒子) の濃度は、この一連の規格の別の部分でカバーされています。

EN ISO 14644-2:2015 規範的参照

• ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
• ISO 14644-3:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 3: 試験方法
• ISO 14644-4:2001 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 4: 設計、建設、試運転
• ISO 21501-4:2007 粒度分布の測定 単一粒子光干渉法 パート 4: 無菌空間光散乱粉塵粒子カウンター
• ISO 31000:2009 リスク管理の原則と指針

EN ISO 14644-2:2015 発売履歴

• 2015 EN ISO 14644-2:2015 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 2: 空気清浄度に関連するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用
• 2000 EN ISO 14644-2:2000 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 ISO 14644-2-2000 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様