EN ISO 14644-2:2000
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 ISO 14644-2-2000 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様

規格番号

EN ISO 14644-2:2000

制定年

2000

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

状態

撤回

に置き換えられる

EN ISO 14644-2:2015

最新版

EN ISO 14644-2:2015

EN ISO 14644-2:2000 発売履歴

• 2015 EN ISO 14644-2:2015 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 2: 空気清浄度に関連するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用
• 2000 EN ISO 14644-2:2000 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: ISO 14644-1 ISO 14644-2-2000 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様