ASTM F50-12(2015)
単一サブミクロン以上の粒子を検出できる機器を使用して、粉塵管理エリアやクリーンルームで浮遊粒子のサイズを測定し計数するための標準的な方法
- 規格番号
- ASTM F50-12(2015)
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM F50-21
- 最新版
- ASTM F50-21
- 範囲
- 5.1 この実践の主な目的は、単一粒子計数技術によって示される、クリーンエリア内の浮遊粒子濃度とサイズ分布に関するほぼリアルタイムのデータを収集する手順を説明することです。 一部の政府および業界の仕様を実装するには、SPC を使用して粒子サイズと濃度のデータを取得する必要があります。 5.2&# クリーンルームで製造される多くの製品の処理要件には、環境清浄度レベルが非常に低いため、クリーンルームの空気を特徴付けるには、非常に小さな粒子を検出する機能を備えた単一のパーティクルカウンターが必要です。 0.1μm未満から5μm以上までのサイズ範囲の浮遊粒子濃度に関するリアルタイム情報は、SPCでのみ取得できます。 約 0.05μm より大きい粒子の定義は、個々の粒子からの光散乱を直接測定することで実行できます。 より小さい粒子の場合は、粒子測定前の凝縮による予備成長など、他の技術が必要になる場合があります。 5.3 粒子サイズ データは、SPC の校正に使用される粒子システムを参照しています。 さまざまな SPC 間の検出、電子およびサンプル処理システムの違いが、粒子の特性評価の違いに寄与する可能性があります。 組成や形状がキャリブレーションベース材料と大きく異なる粒子のデータを比較しようとする場合には注意が必要です。 異なる動作パラメータを持つ同様の粒子感知システムを使用する機器間でも変動が発生する可能性があります。 これらの影響は、SPC の校正と操作に標準的な方法を使用して認識し、最小限に抑える必要があります。 5.4 この実践を適用する際には、SPC を通過するサンプル内の粒子が分析対象の粉塵管理エリア全体の粒子を代表しているという基本的な仮定が立てられます。 適切なサンプリング手順を使用し、サンプルの取り扱いおよび分析プロセスのどの時点でもアーチファクトが生成されないように注意する必要があります。 これらの予防措置は、SPC の検証と運用の両方において必要です。 1.1 この実習では、粉塵管理区域およびクリーン ルームにおける浮遊粒子の数による粒子濃度とサイズ分布を、約 0.01 ～ 5.0 のサイズ範囲の粒子について測定します。 #x03bc;m。 3.58201;×8201;106 粒子/m 3 (1008201;000/ft3) を超えない粒子濃度は、測定された最小サイズ以上のすべての粒子に適用されます。 1.2 この実践では、感知ゾーンを通過する個々の粒子によって生成される信号の測定に基づいて動作する空中単一粒子計数装置 (SPC) を使用します。 信号は粒子サイズに直接的または間接的に関連している必要があります。 注 1:&# SPC タイプはここでは指定されません。 SPC には、従来の光学式粒子計数器 (OPC)、空気力学的粒子計数器、拡散電池または微分移動度分析器と連動して動作する凝縮核計数器 (CNC)、または粒子内の単一粒子を計数および計数できるその他のデバイスを使用できます。 クリーンルーム環境でのサンプリングの対象となるサイズ範囲。
ASTM F50-12(2015) 規範的参照
- ASTM D1356 大気のサンプリングと分析に関する標準用語*， 2024-04-09 更新するには
- ASTM F328 単分散球状粒子を使用した浮遊粒子計数器の校正の標準的な手法
- ASTM F649 比較手順を使用した浮遊粒子計数器の二次校正の標準的な方法
- ASTM F658 減光ベースの光学システムを使用した液体媒介粒子計数器の校正の標準的な手法
- ISO 14644-1
- ISO 14644-2 クリーンルームと関連する管理環境 パート 2: 空気清浄度に対するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するための粒子濃度モニタリングの使用
ASTM F50-12(2015) 発売履歴
- 2021 ASTM F50-21 単一サブミクロン以上の粒子を検出できる機器を使用して、防塵エリアおよびクリーンルームで浮遊粒子を継続的に調整および計数するための標準的な手法
- 2012 ASTM F50-12(2015) 単一サブミクロン以上の粒子を検出できる機器を使用して、粉塵管理エリアやクリーンルームで浮遊粒子のサイズを測定し計数するための標準的な方法
- 2012 ASTM F50-12 シングルショットミクロンおよび大きな粒子検出が可能な機器を使用した、粉塵管理エリアおよびクリーンルームにおける浮遊微粒子のサイズと計数を継続的に行うための標準的な手法
- 2007 ASTM F50-07 サブミクロン以上の粒子を個別に検出できる機器を使用して、粉塵管理エリアおよびクリーンルームで浮遊粒子のサイズと計数を継続的に行うための標準的な手法。
- 1992 ASTM F50-92(2001)e1 単一サブマイクロメートル以上の粒子を検出できる機器を使用して、制御された粉塵および無菌エリアで浮遊粒子のサイズを測定し、計数することを継続的に行います。
- 1992 ASTM F50-92(1996) 単一サブマイクロメートル以上の粒子を検出できる機器を使用して、制御された粉塵および無菌エリアで浮遊粒子のサイズを測定し、計数することを継続的に行います。
