YS/T 15-2015
研削角染色法によるシリコンエピタキシャル層と拡散層の厚さ測定 (英語版)

規格番号

YS/T 15-2015

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2015

出版団体

Professional Standard - Non-ferrous Metal

最新版

YS/T 15-2015

交換する

YS/T 15-1991

YS/T 15-2015 発売履歴

• 2015 YS/T 15-2015 研削角染色法によるシリコンエピタキシャル層と拡散層の厚さ測定
• 1991 YS/T 15-1991 研削角染色法によるシリコンエピタキシャル層と拡散厚さの測定