YS/T 15-1991
研削角染色法によるシリコンエピタキシャル層と拡散厚さの測定 (英語版)
- 規格番号
- YS/T 15-1991
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1991
- 出版団体
- Professional Standard - Non-ferrous Metal
- 状態
- 2015-10
- に置き換えられる
- YS/T 15-2015
- 最新版
- YS/T 15-2015
YS/T 15-1991 発売履歴
- 2015 YS/T 15-2015 研削角染色法によるシリコンエピタキシャル層と拡散層の厚さ測定
- 1991 YS/T 15-1991 研削角染色法によるシリコンエピタキシャル層と拡散厚さの測定
