KS I ISO 14644-6:2014
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 6: 語彙

規格番号

KS I ISO 14644-6:2014

制定年

2014

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

撤回

に置き換えられる

KS I ISO 14644-6:2017

最新版

KS I ISO 14644-6-2022

交換する

KS I ISO 14644-6:2009

KS I ISO 14644-6:2014 発売履歴

• 2022 KS I ISO 14644-6-2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境 — パート 6: 語彙
• 2017 KS I ISO 14644-6:2017 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 6: 語彙
• 2014 KS I ISO 14644-6:2014 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 6: 語彙
• 2009 KS I ISO 14644-6:2009 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙