KS I ISO 14644-6:2009
クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙
- 規格番号
- KS I ISO 14644-6:2009
- 制定年
- 2009
- 出版団体
- Korean Agency for Technology and Standards (KATS)
- 状態
- 2014-12
- に置き換えられる
- KS I ISO 14644-6:2014
- 最新版
- KS I ISO 14644-6-2022
- 範囲
- この規格は、クリーンルームと関連する制御環境に関連する用語と定義を説明しています。 この規格はKS
KS I ISO 14644-6:2009 発売履歴
- 2022 KS I ISO 14644-6-2022 クリーンルームおよび関連する管理された環境 — パート 6: 語彙
- 2017 KS I ISO 14644-6:2017 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 6: 語彙
- 2014 KS I ISO 14644-6:2014 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 6: 語彙
- 2009 KS I ISO 14644-6:2009 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙
