GOST R ISO 14644-10-2014
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10. 化学物質濃度法を使用した表面清浄度の分類

規格番号

GOST R ISO 14644-10-2014

制定年

2014

出版団体

RU-GOST R

最新版

GOST R ISO 14644-10-2014

GOST R ISO 14644-10-2014 規範的参照

• ISO 14644-1 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
• ISO 14644-6 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙

GOST R ISO 14644-10-2014 発売履歴

• 2014 GOST R ISO 14644-10-2014 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10. 化学物質濃度法を使用した表面清浄度の分類