KS D 0261-2012
ミラーシリコンウェーハの外観検査

規格番号

KS D 0261-2012

制定年

2012

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS D 0261-2012(2017)

最新版

KS D 0261-2022

交換する

KS D 0261-2002

範囲

この規格は、半導体素子用シリコンウエハを化学的・機械的方法で鏡面で整えたウエハ（

KS D 0261-2012 発売履歴

• 2022 KS D 0261-2022 鏡面シリコンウェーハの外観検査
• 0000 KS D 0261-2012(2017)
• 2012 KS D 0261-2012 ミラーシリコンウェーハの外観検査
• 0000 KS D 0261-2002