KS D 0261-2012(2017)
シリコンウェーハをミラーで検査

規格番号

KS D 0261-2012(2017)

制定年

2012

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2022-01

に置き換えられる

KS D 0261-2022

最新版

KS D 0261-2022

KS D 0261-2012(2017) 発売履歴

• 2022 KS D 0261-2022 鏡面シリコンウェーハの外観検査
• 0000 KS D 0261-2012(2017)
• 2012 KS D 0261-2012 ミラーシリコンウェーハの外観検査
• 0000 KS D 0261-2002