KS D 0078-2008
シリコン結晶中の混合物の濃度を測定する方法、フォトルミネッセンス分析法

規格番号

KS D 0078-2008

制定年

2008

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS D 0078-2008(2018)

最新版

KS D 0078-2023

交換する

KS D 0078-1998

範囲

この規格は、光発光分光法によるシリコン単結晶および多結晶シリコン不純物濃度の測定方法に

KS D 0078-2008 発売履歴

• 2023 KS D 0078-2023 フォトルミネッセンス分光法によるシリコン結晶中の不純物濃度の測定方法
• 0000 KS D 0078-2008(2018)
• 2008 KS D 0078-2008 シリコン結晶中の混合物の濃度を測定する方法、フォトルミネッセンス分析法
• 0000 KS D 0078-1998