KS D 0078-2008(2018)
不純物濃度を測定するためのシリコン結晶のフォトルミネッセンス分光法の試験方法

規格番号

KS D 0078-2008(2018)

制定年

2008

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2023-01

に置き換えられる

KS D 0078-2023

最新版

KS D 0078-2023

KS D 0078-2008(2018) 発売履歴

• 2023 KS D 0078-2023 フォトルミネッセンス分光法によるシリコン結晶中の不純物濃度の測定方法
• 0000 KS D 0078-2008(2018)
• 2008 KS D 0078-2008 シリコン結晶中の混合物の濃度を測定する方法、フォトルミネッセンス分析法
• 0000 KS D 0078-1998